采購型號(hào):卓水越電子級(jí)超純水系統(tǒng)ZYUP-DEH-2500L
采購單位:四川某新材料公司
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超純水設(shè)備在新材料領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下方面:
半導(dǎo)體制造
超純水通過雙級(jí)反滲透、EDI及拋光混床等工藝,產(chǎn)出電阻率超過18.2 MΩ·cm的純水,用于晶圓清洗、化學(xué)試劑配制及封裝工藝。其高純度可避免金屬離子、有機(jī)物等雜質(zhì)干擾光刻、蝕刻等精細(xì)操作,直接影響芯片良率和可靠性。 ?
鋰電池生產(chǎn)
鋰電池制造需使用超純水清洗電極材料、配制電解液,高純度可減少雜質(zhì)對(duì)電池性能的影響,提升充放電效率和安全性。 ??
太陽能電池
超純水用于硅片清洗和化學(xué)試劑配制,其低TOC(總有機(jī)碳)特性可避免有機(jī)物殘留影響光電轉(zhuǎn)化效率。 ??
化工廢水處理
中電環(huán)保等企業(yè)通過全膜法、樹脂吸附等技術(shù),將超純水應(yīng)用于新材料生產(chǎn)廢水處理,實(shí)現(xiàn)廢水回用及零排放,降低生產(chǎn)成本并減少環(huán)境污染。
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ZYUP系列
高純水制備系統(tǒng)
產(chǎn)品說明
ZYUP系列高純水制備系統(tǒng),亦稱超純水制備系統(tǒng),是通過陰陽離子混床樹脂或EDI電除鹽裝置把純水純化為符合國家一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)的高度超純水;通過離子交換法,使氫型樹脂交換水中的陽離子、氫氧型樹脂交換水中的陰離子,交換下來的H+和OH-結(jié)合成電離度很小的高純水(H20);離子交換是一種傳統(tǒng)的、工藝成熟的脫鹽處理技術(shù),在制備高純水領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù):
u 產(chǎn)水量:0.25m3 /h ~ 50 m3/h (參考用戶用水量選型);
u 離子去除率 ≥ 99%;
u 內(nèi)毒素、細(xì)菌去除率:≥ 99%;總有機(jī)碳(TOC)≤20ppb;
u 回收率:≥50% ~ 75% ;
u RO產(chǎn)水電導(dǎo)率:≤ 10~15uS/cm @25℃(原水水質(zhì)TDS ≤ 400ppm);
u UP產(chǎn)水電阻率:≥10~18.25MΩ.cm(可根據(jù)用戶水質(zhì)要求選取達(dá)標(biāo)的工藝);
u 出水標(biāo)準(zhǔn):符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn);符合美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo);符合中國電子級(jí)水【GB/T11446.1-2013】水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
u 進(jìn)水要求:市政供水; 供水壓力:0.2~0.4MPa;進(jìn)水溫度:5~40℃;
u 環(huán)境溫度:5-40℃,濕度<85%RH,無粉塵和強(qiáng)電磁干擾;
性能特點(diǎn):
u 全自動(dòng)PLC控制系統(tǒng),7/10寸觸摸顯示屏;
u 具有開機(jī)自檢,缺水停電自動(dòng)停機(jī)保護(hù),來水自動(dòng)開機(jī)制水,無壓力保護(hù)系統(tǒng),水滿停機(jī)等安全裝置;
u 預(yù)處理系統(tǒng)具備自動(dòng)清洗和自動(dòng)再生運(yùn)行功能;
u 具備開機(jī)RO膜自動(dòng)沖洗和水箱水滿自動(dòng)雙沖洗功能,可延長RO膜壽命;
u 具備水質(zhì)在線監(jiān)測(電導(dǎo)率、電阻率雙顯示),流量和壓力在線顯示;
u 機(jī)架式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,外形美觀,操作方便,完全實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話,而無需專人值守;
u 設(shè)備故障具備自動(dòng)報(bào)警提醒功能;
u 出水水質(zhì)優(yōu)良、穩(wěn)定,出水pH接近中性;
u 核心部件(泵、RO膜、拋光混床樹脂、EDI電除鹽裝置等)采用進(jìn)口/ 國產(chǎn)合資品牌,穩(wěn)定性高;
u 設(shè)備機(jī)架采用不銹鋼材質(zhì),低壓管路為UPVC材質(zhì),高壓管路采用SUS304/316不銹鋼材質(zhì);管路材質(zhì)多種可選;